事業紹介/私たちの仕事OUR BUSINESS
MOCVD装置は、原料を正確にリアクター（成膜炉）へと導く「原料供給ユニット」、ウェハ上に化合物半導体の薄膜を形成する「リアクター」、リアクター内部の圧力をコントロールする「排気圧力制御ユニット」、それらを一元管理する「電気制御システム」から構成されます。日本酸素ATIは、長年培ってきた独自のガスハンドリング技術を応用し、お客様の多様なニーズに応えるMOCVD装置を提供しています。
産業を支える3つの事業
独自に培ってきた高度なエンジニアリング技術で装置の設計から開発・製造までをワンストップでご提供しています
装置統括部
装置統括部では、日本酸素が国内外に供給しているMOCVD装置とその関連装置について、設計・製造を行っています。
MOCVD装置を用いて製造された化合物半導体製品は、家庭用の照明や赤緑青の信号灯用LEDから、Blu-ray再生用のレーザダイオード、携帯電話基地局に搭載される発信機用FETなどに至るまで、近年、大きくその活躍の場を広げています。
開発統括部
開発統括部では、当社がこれまでに培った化合物半導体向けCVD装置の設計技術や品質管理技術を活かし、イノベーション戦略によって事業拡大を目指す新たな開発製品やガスソリューション製品の設計・エンジニアリング業務を行っています。
また、次期商品開発に向けた積極的な技術支援やアフターサービス向上にも取り組んでいます。
電気計装事業部
電気計装事業部では、制御盤、監視盤、操作盤など、ハードウェアやソフトウェアの製作をはじめ、ロボット組込み、各種電子機器や基板のハードウェアを手掛けています。基板設計、電子回路設計、ソフトウェア開発・設計、ハードウェアの設計から製作までを担い、さまざまな分野に貢献しています。